Traitements de surface par plasmas froids : principes et applications par Institut polytechnique de Grenoble (Grenoble INP)

1. Plasmas froids définitionsoPlasma froid vs plasma chaudoExemple de procédés plasmas industrielso
Les grandeurs caractérisant un plasma froid : densité électronique,
température électronique, degré d'ionisation, fréquence plasma, longueur
de Debye, potentiel plasma et potentiel flottant, gaine ionique2. Les réacteurs plasmasoDécharges capacitives DC
- Courbe de PaschenoDécharges capacitives RFoDécharges inductives et microondesoDécharges atmosphériquesoRéacteurs " mono plaque ", réacteurs Batch et roll to roll. 3. Les diagnostics plasmasoLes diagnostics optiques (OES, ...)oLes diagnostics " électriques " (sonde de Langmuir,...)oAutres diagnostics (Spectrométrie de masse,....)4. Applications oProcédés de dépôt PVD, PECVD, PEALD oProcédés de gravure plasma RIE, Deep RIE, MERIE, ...oProcédés plasmas pour l'encapsulation et l'emballage oProcédés plasmas pour la santéLors des séances de Travaux Pratiques, les applications qui seront le support des mises en situation sont : oDépôt par plasma PEALD et suivi in situ par ellipsométrie et OESoGravure plasma avec détection de gravure par interférométrie

- Définir et caractériser un plasma froid
- Connaitre les différents réacteurs permettant de créer un plasma froid
- Décrire les principaux procédés utilisant des plasmas froids :
dépôts et traitement de surface, gravure plasma, implantation ionique,
etc.
- Savoir sélectionner un équipement et les paramètres de procédé (puissance, pression, etc.) en fonction de l'application visée