Initiation à la fabrication en salle blanche par Institut polytechnique de Grenoble (Grenoble INP)

Jour 1Matin (cours) :
- Présentation de la salle blanche et des étapes technologiques de base
- Rappel sur le fonctionnement des composants et des enjeux de l'électroniqueAprès
- midi (Salle blanche) :
- Nettoyage des substrats
- Oxydation thermique
- Visite de la salle blanche dans son ensembleJour 2Matin (salle blanche) :
- Photolithogravure du poly silicium
- Mesure des motifsAprès
- midi (salle blanche) :
- Implantation/diffusion des sources et drains
- Ouverture des contactsJour 3Matin (salle blanche) :
- Dépôt d'aluminium
- Photolithographie des contactsAprès
- midi (salle de caractérisation électrique) :
- Présentation des méthodes de caractérisation électrique
- Caractérisation des composants fabriqués en salle blanche

o Avoir une vue d'ensemble de la fabrication des circuits intégrés : les différentes étapes et la logique de leur enchainement
o Découvrir l'environnement d'une salle blanche et l'utilisation des équipements associés
o Mettre en oeuvre les différentes étapes de fabrication de composants transistor à partir d'un substrat de silicium
o Manipuler les moyens de caractérisation associés aux différentes étapes et à la validation du fonctionnent final